常見氣體的種類

發布時間: 2019-09-03 07:51:12

新聞來源: 無錫久安化工有限公司

常見氣體的種類

電子行業中常見氣體的分類:

普通氣體,也稱大宗氣體(Bulk gas ):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等

特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2HF HBR SF6……等等


特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導體氣體分類如下:


(一)、腐蝕性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等

(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等

(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等

(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等

半導體氣體很多是對人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應,開始燃燒;還有AsH3的劇毒性,任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害,也就是因為這些顯而易見的危險,所以對于系統設計性的要求就特別高。


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